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High power UV laser
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  • 313nm Laser

313nm Laser

313nm Laser, Based on single frequency seed laser,low noise fiber amplifier and high efficiency frequency convert technique, Precilasers can provide narrow linewidth 313nm CW lasers，maximum output power is 2W,features with high frequency stability,lo
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브랜드
precilasers
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Narrow Linewidth
High Power
Good Beam Quality
Never Mod Hop
Application
Precision Measurement
Wafer Metrology
Interference Lithography
313nm Laser
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    Main parameters

    Specification

    Partnumber

    FL-SF-X-Y-CW

    Wavelength Range

    313nm-325nm,  center wavelength can be selected

    Linewidth(100 us integration )

    <40kHz

    Operational Mode

    CW

    Output Power

    >300mW

    >1W

    >2W

    Beam Diameter

    1±0.15 mm

    Beam Waist Location

     output aperture±0.5m

    Beam Divergence  (full angle)

    <0.6mrad

    Beam Circularity

    0.9-1.1

    Beam Pointing Stability (P-P)

    <50μrad@3h

    Beam Quality

    TEM00，M²<1.2

    Polarization

    linear,  Vertical, ±3°, >20dB

    Power Stability

    <0.75% @3hours, RMS

    Relative Intensity Noise

    <0.2%(RMS, 10Hz-10MHz integration)

    Cooling

    Water cooling

    Warm-Up Time

    Cold Start

    <2 hours

    Warm Start

    <15 minutes

    Demension and Weight

    Controller Size

    ≤483mm x 520mm x 132mm

    Laser Head Size

    ≤390mm x 310mm x 130mm

    Chiller Size

    ≤58cm x 29cm x 52cm

    Laser Head Weight

    ≤18kg

    Controller Weight

    ≤20kg

    Chiller Weight

    ≤25kg

    Cable Length Between Laser And Controller

    fiber length>1.5m

    Environment and Power Supply

    Operating Temperature（No condensing）

    15-35 ℃（water cooling）

    Power Supply

    100V-240V, AC, 50/60Hz

    Power Consumption

    <170W

    <200W

    <240W

    Communication

    RS422 

    定制图标Higher power, more wavelengths, customizable solutions

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